质量流量控制器         型号；DP-D07-7B DP-D07-7B型 质量流量控制器仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。技术参数：
满量程流量范围（N2） 5SCCM～10SLM
控制范围 2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态） 电磁调节阀（常闭）
准确度 ±1.5％F.S.
线性 ±0.5～1.5％F.S.
重复 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤7sec
工作温度范围 5～45℃
工作压差 0.1～0.5MPa
耐压 3MPa
漏气率 1×10-8atm.cc/sec He
密封材料 氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式 DB15 pin（Female）
接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose 
Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量 1.1Kg